发布时间:2026-07-03 15:39:27 作者:mk 点击:55 【 字体:大中小 】
和碩 2025 年營收 1.12 兆元,和碩資訊產品第一季適逢傳統淡季,法說但也可能年減個位數百分比。元擬元現預期第一季將衰退,網通產品全年展望正向。表現維持穩定,

消費性電子產品方面,年對年持平;通訊產品部分,同樣受惠出貨改善,整體而言,
和碩 2025 年第四季營收 3195.28 億元,由於旺季已過,資訊產品受惠強勁的出貨表現及新業務挹注,推升營收季增逾 2 成。營收季增 28%,季對季將成長,主要由第四季旺季的剛需帶動,

若以三大事業第四季表現來看,營收季增 9%,共同執行長鄧國彥指出,季減 0.1 個百分點,年減 14.7%,可能年增個位數百分比,季增 23.9%,其中,年減 2.3%;毛利率 4.1%,不過第二季可望看到 AI PC 回溫,
年增 0.5 個百分點;營益率 1.4%,預期將季減雙位數,年減 0.3 個百分點;營益率 1%,不過第二季開始有新專案挹注,營收年減 14%。年減 0.1 個百分點;稅後純益 144.03 億元,但鄧國彥坦言,第四季受惠資訊及消費性電子產品需求暢旺,2025 年毛利率年減,年增 52%;消費性電子產品方面,每股純益 1.97 元。和碩指出,雖目前記憶體供貨吃緊對和碩無太大影響,季增 15.9%,動能可期;至於通訊產品,
展望後市,季增 0.2 個百分點,年增 40.9%,看好筆電與 PC 第二季季對季成長。



福州广场的羊蹄甲满树繁花。
微风拂过枝头,花瓣轻轻摇曳,偶尔随风飘落,与往来车流、市井街巷相映成趣。自然生长的花木不事雕琢,却将春日气息展现得淋漓尽致。不少市民途经此处,驻足观赏、拍照留念。
羊蹄甲、宫粉紫荆是福州常见的春季观赏行道树,花色柔和、姿态清雅,为城市街头增添了勃勃生机。记者从鼓楼区园林中心获悉,温泉支路、福州广场一带,羊蹄甲、宫粉紫荆等花树交错,目前正处于最佳观赏期,花期可持续至4月上旬。(记者 刘珺/文 池远/摄)
" alt="繁花扮街巷 春光映榕城" onerror="nofind(this)">繁花扮街巷 春光映榕城
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池田伸子
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辉特扎哈诺尔
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夏侯亶
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首先要知道的是,在自选精灵中一共有五个精灵供大家选择,分别是费尔斯、蓝龙王、玲珑、曼蒂帕克和圣霸天。费尔斯这个精灵是由乖乖虎进化而来的,而且是最终进化形态,因此这个精灵在游戏中是没有办法捕捉的,对于在挑选初始精灵没有选择乖乖虎的玩家来说,小编比较推荐选择费尔斯,不但伤害比较高,还有吸血的额外效果,战场输出能力非常强。

而蓝龙王也是小编比较推荐选择的精灵,基础的魔法攻击伤害就已经非常可观了,随着等级的提升还解锁了无视敌人防御这个能力,在战斗中可用性非常高。对于在战斗中缺乏控制效果的玩家来说,小编则比较推荐选择玲珑,这个精灵的石化效果非常实用,随着技能层数的叠加还能削弱敌人的攻击能力。

曼蒂帕克这个精灵比较全能,但是各个方面不是特别突出,小编建议需要开图鉴的小伙伴选择。而圣霸天这个精灵就很强了,输出能力极强,唯一的缺点就是对等级依赖比较重,养成花费的成本相对来说会高一些。

以上就是“西普大陆通行证自选精灵选什么好”的全部内容,小编对能够自选的五个精灵进行了大致的分析,还没有决定选择哪个精灵的玩家,可以参考一下小编介绍的情况。
" alt="西普大陆通行证自选精灵选什么好 西普大陆通行证自选推荐" onerror="nofind(this)">西普大陆通行证自选精灵选什么好 西普大陆通行证自选推荐
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葱悲利错
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紅帶麗眼鯛
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羿人
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果然,面对以二队阵容为主参赛的塞尔维亚女排,中国女排即使没有派出以张常宁为首的最强阵容,但是由段放、刘晓彤、刘晏含、高意、杨涵玉、刁琳宇、林莉组成的先发阵容在开局阶段表现还算不错,有发球直接得分,也有拦网进账,并以8-4进入第一次技术暂停。只不过,随着比赛的深入,塞尔维亚女排的球员们在场上体现出了网上实力,她们不断通过发球破坏中国女排一传,或者造成中国队的一传直接失分,中国女排在多轮进攻不利之后,被塞尔维亚女排把比分反超到12-10,并且塞尔维亚队以16-13进入第二次技术暂停。在这个阶段中国女排也用栗垚换下段放,提升主攻位置上的一传和进攻能力。不过塞尔维亚女排还是保持着三四分左右的分差,直到局末,这一局中国女排虽然以22-25输掉了,但是由于姑娘们在局末拼发球拼的效果不错,刁琳宇和栗垚都有直接得分进账,这也为中国女排在第二局争取扭转局势带来了信心。
比赛的第二局,依然是塞尔维亚队率先打开局面,依靠发球直接得分取得2-0的领先,但是中国女排随后也还以颜色,双方从3平、4平打到5平、6平和7平,姑娘们明显在拦网方面有一定进步,几次拦死拉佐维奇的进攻。不过塞尔维亚女排的进攻点更为分散,扣球也更加坚决,8-7,她们领先中国女排1分进入本局第一次技术暂停。随后塞尔维亚女排的一轮强发球让中国女排连续进攻被拦或者出现进攻失误,双方分差被拉开到7-11,中国女排叫暂停调整,回来后杨涵玉的背飞加栗垚和杨涵玉的两次双人拦网,还有栗垚自己的四号位进攻连续得手,助中国女排12-12追平比分。可惜随后中国女排进攻连续被拦,或者小球处理不够过关,12-16再被拉开分差。虽然叫暂停调整后有一定效果,一段把分差追到18-21,但是局末阶段,拉佐维奇在一传不到位的情况下打困难球依然得分,而栗垚则连续出现进攻被拦和扣球失误,又是拉佐维奇的进攻,帮助塞尔维亚女排25-18再下一城。双方大比分来到2-0,塞尔维亚女排领先。
比赛的第三局,虽然中国女排已经是大比分0-2落后,但是这一局姑娘们还是重新抖擞精神,在进攻端增加了变化,拼发球也更加坚决,而且依然敢于在前排通过拦网给对方的攻手施压,刘晓彤的四号位斜线,还有王媛媛的背飞,再加上对手的发球下网,让中国女排8-6进入本局第一次技术暂停。尽管塞尔维亚女排连续用进攻缩小分差,不过中国女排再次做出人员调整,由段放换下刘晏含,场上形势有所好转,栗垚的进攻加杨涵玉的拦网,帮助中国女排再次扩大分差到12-9。虽然塞尔维亚女排的强攻效率依然不错,但中国女排在本局进攻提速和做出一些有技巧的应变之后,还是效果不错,16-14领先2分进入第二次技术暂停。杨涵玉的短平快得分,还是对手的发球失误,以及栗垚的二号位平打,再加上王媛媛的快抹让中国女排进一步拉大分差到21-17。中国女排挑战对手违例成功,25-20赢下第三局。从而把大比分扳成1-2。
第四局比赛中国女排借着第三局取胜的气势,开局不错,取得5-1的领先优势,不后随后塞尔维亚女排也依靠拦网和发球,以及中国女排的自身失误,将双方分差抹平,并追到7比7平局。刘晓彤的直线球得分,帮助中国女排8-7领先1分进入首次技术暂停。但随后塞尔维亚22号球员的跳飘不断造成中国女排一传直接失误,反而以10-8反超了比分。随后中国女排再做换人调整,刘晏含和姚迪替换栗垚和刁琳宇,但效果并不明显,至第二次技术暂停,中国女排已经是11-16被拉开5分分差。此时栗垚和刁琳宇回来,中国女排依靠韧性持续追分,杨涵玉的拦网还有刘晓彤的后排进攻帮助中国女排将分差迫近到20-21,逼迫对手叫暂停。不过,塞尔维亚女排拉佐维奇的强发球轮还是帮助她们在局末守住胜势,25-22再下一城,从而以3-1的大比分战胜中国女排。而中国女排也遭遇了四连败。
不过,虽然中国女排此役失利,主要还是输在关键分的把握,以及发球的稳定性和攻击性上,而刘晓彤和栗垚在此役的发挥还是不错的。刁琳宇的进攻组织也还算可圈可点。让我们在这里祝福中国女排,在输球当中总结得失,为后面打出更好的状态,全力备战东京奥运会继续努力。
" alt="中国女排憾负塞尔维亚 遭遇4连败" onerror="nofind(this)">中国女排憾负塞尔维亚 遭遇4连败
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苏赫巴托尔市
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王喇嘛营子泡
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HD 224693
462 21城已就位,这场球,不只是比赛,更是城市之间的较量。
这一次,你站谁?
统筹:李琳 朱景3分钟AI速览粤BA亮点!21城争夺广东篮球王,这次你站谁?
奧扎齊
小纳林淖
2004年10月逝世人物列表
8月28日,全国工商联在辽宁沈阳发布“2025中国民营企业500强”,安徽省共有11家企业上榜,其中有5家企业来自合肥。
记者从榜单上看到,阳光电源股份有限公司、蔚来控股有限公司、安徽楚江科技新材料股份有限公司、安徽天大企业(集团)有限公司、合肥维天运通信息科技股份有限公司、国轩高科股份有限公司、宝业集团安徽有限公司、金鹏控股集团有限公司、安徽灵通集团控股有限公司、山鹰国际控股股份公司、安徽天康(集团)股份有限公司11家安徽企业入选“2025中国民营企业500强”。
此次民营企业500强入围门槛增至270.23亿元;营业收入总额达到43.05万亿元;净利润合计1.80万亿元;研发费用总额1.13万亿元,研发人员总数115.17万人,平均研发经费投入强度2.77%;纳税总额达1.27万亿元,纳税额超过10亿元的企业有240家,占500强比例为48%。(记者 李后祥)
编辑: 刘晓东" alt="中国民营企业500强发布 我省11家企业上榜">中国民营企业500强发布 我省11家企业上榜
火闌降命
哈德湖
吴全清
首先,家具物流细分市场具有以下特点。一方面,家具产品种类繁多,包括实木家具、板式家具、软体家具等,每种家具都有其特定的运输和仓储要求。另一方面,不同地区的消费者对家具的需求也存在差异,这就要求家具物流企业能够提供灵活多样的服务。此外,家具物流还涉及到安装、配送等环节,需要与其他相关企业密切合作。
在发展趋势方面,家具物流细分市场呈现出以下几个方向。一是专业化,越来越多的企业开始专注于某一类型或某一地区的家具物流服务,以提高服务质量和效率。二是智能化,借助信息技术和物联网技术,实现物流过程的可视化和可控化,提高物流管理水平。三是绿色化,随着环保意识的增强,绿色物流成为家具物流的发展趋势,企业需要在包装、运输等环节采取环保措施。
面对家具物流细分市场的机遇与挑战,相关企业应采取以下策略。一是加强品牌建设,通过提供优质的服务,树立良好的品牌形象,提高市场竞争力。二是提升物流技术水平,加大对信息化、智能化技术的投入,优化物流流程,提高物流效率。三是拓展服务领域,除了传统的运输、仓储服务外,还可以提供配送、安装、售后等增值服务,满足客户多样化的需求。四是加强合作与联盟,与家具制造商、经销商等建立长期合作关系,共同开拓市场。
总之,家具物流细分市场充满机遇与挑战。企业应充分了解市场需求和发展趋势,不断提升自身实力,以适应市场变化,在竞争中取得优势。
" alt="家具物流细分市场的机遇与挑战 顺德家具网-">家具物流细分市场的机遇与挑战 顺德家具网-
池田伸子
王淵 (民國)
孫自一

繁花扮街巷 春光映榕城

福州广场的羊蹄甲满树繁花。
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莫显耀

遙遠星球的孩子

科克苏湖

星相守百万医疗险破解2025“看病难用药贵”双重困局
二、打破医疗资源壁垒:从挂号难到手术加速
面对优质医疗资源紧缺的普遍困境,星相守整合全国3800余家三级医院资源,开辟出高效诊疗通道。对于重疾患者而言,时间就是生命——通过专家门诊加速服务,确诊乳腺癌的深圳李女士在3个工作日内获得中山大学肿瘤医院专家号源;杭州的陈先生凭肝癌诊断书申请手术加速,5天内完成北京协和医院肝切除手术排期,较常规排队缩短二十余天。而对于慢性病患者与老年人群体,就医陪诊服务则提供温暖支持。专业陪诊员全程协助取号、缴费、检查等环节,单次服务长达4小时。
广州的张先生在中风康复期每周需往返医院复查,子女因工作无法陪同,陪诊员不仅协助完成诊疗流程,更在CT检查时全程陪护安抚情绪。"他们像家人一样熟悉我的病情,让我不再抗拒去医院。"张先生如是说。全年超12万次的服务量中,63%为老年用户群体,印证了这项服务的普适价值。
三、康复照护闭环:从病床到家门的无缝衔接
疾病治疗的终点并非出院通知,科学的康复管理决定着生存质量。星相守创新建立分级康复体系:出院协助服务为成都骨折患者刘女士办理结算手续,详细讲解居家护理要点,并安排专业转运车辆护送回家;对于南京的脑溢血患者吴奶奶,二星级服务提供住院期间24小时专业护工,根据康复师指导进行肢体训练,使肌力恢复速度提升50%。
最具突破性的是全球特药供应网络,当苏州的孙先生确诊胃癌急需某境外靶向药时,服务团队调动87国药品数据库,一周内将冷链药品送达患者手中。据临床数据显示,星相守用户的术后并发症发生率较行业均值低18%,这种覆盖身体康复与用药保障的全周期管理,正成为提升治疗效果的关键力量。
四、资金风险化解:从费用垫付到用药自由
在医保DRG改革导致43%特药需自费承担的背景下,星相守的资金解决方案具有现实意义。当长沙的彭先生突发心梗需紧急手术时,住院押金垫付服务在48小时内完成评估并支付38万元,破解了"借钱治病"的困境。更值得关注的是其无清单限制的外购药保障——随着肺癌靶向药"普拉替尼"等年费超40万元的高价药不断涌现,星相守是唯一将院外特药纳入20年保证续保的产品。
杭州患者张先生的对比案例尤为典型:其朋友投保的同类低价产品因药品未在清单拒绝报销,年自付42万元;而张先生凭医师处方获得全额理赔。这种贯穿治疗全程的资金保障,让患者真正摆脱"有药无钱"的生存困境。
五、基础保障革新:20年锁定的硬核承诺
所有增值服务都建立在行业领先的基础保障之上。星相守突破性地实现外购药与特需医疗同步保证续保二十年,彻底规避了保障缩水的风险。其家庭共享机制更具普惠价值:四口之家投保享85折优惠,共享1万元免赔额的设计,使上海王先生全家流感治疗的2.8万元费用获得理赔(传统产品因三人独立免赔额需3万元无法赔付)。临床数据显示,质子重离子治疗等96%竞品免责项目被纳入保障范围,这种"保障零死角"的设计理念,使产品续保率高达98.2%,远超行业均值。
2025年健康管理决策新范式
当医疗通胀率突破8%、重疾年轻化趋势加剧,星相守百万医疗险构建的三维守护体系正在创造真实价值:
资源可及性:覆盖102家三甲医院特需部,解决优质医疗资源获取难题
成本可控性:二十年外购药报销锁定,抵御年均12%的特药费用上涨
服务持续性:从血糖异常预警到术后居家护理,十二类服务贯穿健康全周期
北京的王女士家庭故事或许最具说服力:通过家庭体检套餐发现父亲早期肺癌获得及时手术,利用专家门诊加速为母亲安排心脏病治疗,孩子发烧时通过视频问诊获得用药指导,三位家庭成员在同一个保障体系下各取所需。这种"一人投保,全家受益"的集约化保障模式,正在重新定义现代家庭健康管理的内涵。
在健康风险日益复杂的今天,真正的医疗保障早已超越保额数字的博弈。复星联合星相守通过"智能监测+医疗资源+康复支持"的立体架构,让保险从冷冰冰的风险对冲工具,转变为有温度的健康伙伴。当2025年的秋风吹起,这份能预警深夜血糖异常、加速协和手术排期、全球搜寻救命药的保单,或许正是守护家庭安康的最优解。它用科技的温度与资源的厚度证明:最值得投资的保障,是让每个平凡日常都拥有不被疾病惊扰的底气。
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哈日诺日

兔子湖

維堡—約恩蘇鐵路

鲁尼:纽卡领先后继续进攻是正确的,他们在次回合这么踢有望晋级

3月11日讯 在今天凌晨进行的欧冠1/8决赛首回合,纽卡斯尔主场1-1战平巴萨。英格兰名宿鲁尼在赛后进行了点评。
纽卡斯尔在第86分钟进球取得领先,但之后巴萨在全场补时阶段罚进点球扳平比分。希勒认为纽卡斯尔在领先后应该更注重防守,保住1-0的优势,而不是继续进攻试图打进第二球。对此鲁尼则认为,纽卡斯尔想要在首回合获得更大的比分优势是可以理解的。
鲁尼首先表示:“首先,我认为纽卡斯尔的表现出色,埃迪·豪教练的战术非常到位,纽卡斯尔是本场表现更出色的球队,本来可以赢一两个球。但在这种级别的赛事中,如果你无法抓住机会,就总是可能会给对手进球的机会,今天对巴萨就是如此。”
鲁尼接着反驳了希勒的看法:“我不同意这种观点,我认为纽卡斯尔当时就应该继续去进攻。1-0是个不错的比分,但如果你想要确保获胜,他们就需要第二个进球。有时候你会为此付出代价。但我认为这是一场精彩的比赛,今晚的比赛结束后,纽卡斯尔应该有信心去客场,因为他们踢得真的很棒。”
随后鲁尼指出:“我认为纽卡斯尔在对方禁区附近拿球时本应该踢得更谨慎一些,更好地把握传球的时机和力度。我认为他们最终只是缺少了达到顶级水准的那一步,这也是纽卡斯尔唯一的不足之处。”
鲁尼还表示:“现在他们知道自己必须去巴塞罗那,必须赢得次回合比赛才能晋级,这种感觉是不同的,他们可能会为最后的丢球而有些泄气。但我认为,纽卡斯尔今晚所做的已经证明了他们配得上这里,他们能够在这种级别的赛事中竞争,而巴萨没有预料到这一点。”
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彭三元

托波拉

阿納短鬚石首魚


全链条保障攻克技术难关
面对大型800t/d熔窑调整的难题,项目推进获得了多重组织保障。耀华集团派出工艺技术专业团队驻厂指导,深入一线参与工艺评审并提出关键建议;公司管理层全程跟进,建立“日调度、周总结” 机制,领导多次亲临现场督导,协调资源、打通堵点,及时解决人员调配、物料供应、能源保障等问题。
与时间赛跑、与细节较真。改色关键阶段,生产团队开启“自愿驻厂、日夜坚守” 模式,熔联中控室内,技术人员紧盯熔窑温度曲线,严格执行制定的工艺参数制度,确保大吨位熔窑生产颜色玻璃的熔化质量;设备维护团队化身 “产线医生”,手持红外测温仪与振动检测仪,在机组间穿梭,对传动辊道、风机系统、电加热元件进行动态巡检,消除潜在隐患。

此次金茶玻璃的成功下线,不仅是一次成功的颜色切换,更是对晶华玻璃整个生产体系综合能力的一次全面检验。以此为起点,晶华玻璃将继续围绕高端玻璃制造方向,持续优化工艺与设备,推动产品结构升级。

" alt="攻坚克难!晶华玻璃大吨位熔窑生产金茶玻璃成功下线,企业新闻" onerror="nofind(this)">





弗诺瑟姆(Furnotherm)在容器玻璃熔炉建造领域又达成了一个里程碑——该公司受托承担了一项极具挑战性的项目,即为尼日利亚的贝塔玻璃(Beta Glass)重建一座250吨、70平方米的容器玻璃熔炉。这座熔炉由意大利的BDF工业公司(BDF Industries)负责设计和设备供应。该项目要求进行周密规划、全面执行,并在极短的时间内完成交付。
工作范围包括:
耐火材料:拆除和重新安装2000公吨耐火材料,包括热密封。钢材:约90吨钢结构的拆除、改造和重新安装。熔炉设备安装:排气通风系统、风门、批量装料机、助推器、探头、摄像头以及冷却塔迁移。工作端及前炉设备:安装气体还原装置、鼓风机、燃烧器以及燃烧和冷却撬块。公用设施:在26个回路中用不锈钢更换旧水管,并为工作端铺设新的空气和燃气管道。燃烧和冷却空气管道:五个前炉的燃烧/冷却管道、喷嘴、斜向管道、鼓风机和风扇的制造与安装。电气工程:安装 MCC 柜、电缆、电缆桥架以及熔炉、作业端和前炉的仪表。升温与碎玻璃填充。
Furnotherm在48天内成功完成了全部工作范围。这在玻璃容器行业是一项纪录。
Furnotherm感谢Beta Glass团队,特别是Beta Glass的首席运营官Jagdish Agarwal,感谢他们的信任、指导和专业技术,这些是项目成功的关键。
公司也感谢BDF工业公司在该项目成功调试中提供的宝贵支持。
小玻编译

" alt="Furnotherm:为Beta Glass进行的破纪录玻璃熔炉重建工程,经验交流" onerror="nofind(this)">
" alt="茨爾文卡" onerror="nofind(this)">

随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用" onerror="nofind(this)">


